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    稀土拋光粉及其制備方法

    1194   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 14:29:35
    本發明公開了一種稀土拋光粉及其制備方法，所述稀土拋光粉，其特征在于，包括如下重量百分比的組分：氧化硅6～10%，稀土氧化物90～94%。本發明的稀土拋光粉，不引入容易引起劃傷、環境污染等的氟，保證了拋光的精度；通過對碳酸稀土預處理，得到了特定的晶型，確保了鑭以固溶體的形式存在；通過二氧化硅的引入，抑制了拋光過程中氫氧化鑭的形成。本發明具有生產效率高，成本低、無污染，拋光粉的耐磨性和拋光效率高等特定，適用于集成電路、平面顯示、光學玻璃等電子信息產業精密密器件的表面拋光加工。
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