權利要求
1.一種大面積鈣鈦礦太陽能電池的連續制備生產線，其特征在于，包括依次連接的上料平臺(1)，進料腔體(2)，第一緩沖腔體(3)，真空蒸鍍沉積工藝腔體(4)，第二緩沖腔體(5)，真空傳輸腔體(6)，第三緩沖腔體(7)，原子層沉積工藝腔體(8)，出料腔體(9)和卸料平臺(10);
所述真空蒸鍍沉積工藝腔體(4)中設置有蒸發源，用于制備電子傳輸層;所述原子層沉積腔體(8)用于制備電子傳輸層或界面修飾層;
所述進料腔體(2)和出料腔體(9)用于抽放大氣，設置傳輸速度;所述進料腔體(2)和出料腔體(9)的兩側設置有閘閥，各腔體上設置抽真空裝置使得腔體內部形成真空腔室，所述真空腔室的兩側設置傳動輸送裝置帶動真空腔室內的輸送載盤從進料腔體(2)依次向前輸送至出料腔體(9)，每個腔體上至少設置一路冷卻管道，腔體與腔體間設有閘板隔離裝置。
2.如權利要求1所述的大面積鈣鈦礦太陽能電池的連續制備生產線，其特征在于，所述輸送載盤上裝配有兩塊玻璃基片。
3.如權利要求1所述的大面積鈣鈦礦太陽能電池的連續制備生產線，其特征在于，所述玻璃基片的長度為1.0m-1.2m，寬度為0.6m-0.8m。
4.一種大面積鈣鈦礦太陽能電池的連續制備方法，其特征在于，采用如權利要求1所述的大面積鈣鈦礦太陽能電池的連續制備生產線，所述制備方法包括如下步驟：
S1)將已完成空穴傳輸層以及鈣鈦礦活性層制備的大面積玻璃基板通過上料平臺(1)進入進料腔體(2);
S2)開啟C60源或PCBM源加熱，等待源升溫以及蒸發速率溫度，進入第一緩沖腔體(3)設定傳送速率使玻璃基板進入真空蒸鍍沉積工藝腔體(4)進行蒸鍍;
S3)通過真空傳輸腔體(6)進入第三緩沖腔體(7)等待到達沉積溫度后，進入原子層沉積工藝腔體(8);
S4)先行噴二甲基錫或四甲基鈦前提氣體，形成單分子層，將多余前體氣體抽出，以使得只有單分子層的前提氣體留在膜層表面;引入氧化劑氧氣，與吸附在表面的單分子層發生反應，生成SnOx;
S5)重復步驟S4，多次循環使得SnOX厚度達到預設厚度;
S6)進入出料腔體(9)后，充氣平衡大氣后傳輸至卸料平臺(10)。
5.如權利要求4
聲明：
“大面積鈣鈦礦太陽能電池的連續制備生產線及方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
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編輯：中冶有色網
來源：浙江晟霖益嘉科技有限公司
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2025年07月23日 ~ 26日 
