本發明屬于冶金制備領域,特別涉及一種磁控濺射FE-CO合金靶的制造方法。該方法以99.97%的電解鈷和99.95%的純鐵為原料,經真空熔煉、鑄錠、鍛造、軋制、矯直,然后機加工成成品。合金成分WT%范圍為:FE 25-75%,CO 25-75%;在熔煉過程中澆注溫度在合金熔點以上50℃~150℃,鍛造溫度在800℃~1200℃,軋制溫度為850℃~1200℃,鍛造和軋制的變形量均大于80%,矯直溫度在700℃~1000℃。本發明與現有技術相比具有工藝簡單,成本低,成份分布均勻無偏析,晶粒細小均勻,成品的純度高,密度大、可控尺寸大,厚度薄的優點。
聲明:
“磁控濺射FE-CO合金靶的制造方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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