本發明一種多晶硅定向凝固設備屬于用物理冶金技術提純多晶硅的技術領域,特別涉及一種用定向凝固方法熔煉多晶硅的設備。該設備外殼的內腔為真空室,真空室內由上耐熱纖維保溫套、方形側耐熱纖維保溫套、下耐熱纖維保溫套構成封閉的保溫區間;在下耐熱纖維保溫套中部開有一個錐形孔,與拉桿固定相連的耐熱纖維散熱屏插入其中;多晶硅定向凝固設備有一個支撐臺,它由框架形支架和安裝在框架形支架上的左、右滑動拉桿構成;設備外殼固定在框架形支架上。該設備有效控制液態多晶硅的散熱方式,保證溫度梯度始終保持一個方向,使液態多晶硅沿底部單一方向散熱,完成多晶硅的定向凝固。具有能耗低、側境污染小的特點。
聲明:
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