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    Ni-Mn-Ti基多元合金靶材及其制備方法和薄膜

    944   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 14:33:06
    本發明涉及一種Ni?Mn?Ti基多元合金靶材及其制備方法和薄膜。首先電弧熔煉制備合金錠子，提高了合金的純度，致密性，使多種元素得到充分的合金化；后續通過熔體快淬以一定輪速甩出薄帶，降低了材料內部的孔隙率，簡化了后續熱處理工藝，并細化晶粒，使元素分布更趨于均勻；然后將薄帶研磨成合金粉末，有效解決了單個元素熔點過低或過高導致的成分不均，在保證原有磁性下，拓寬了相變溫跨；最后通過熱壓制備四元合金靶材。本發明集電弧熔煉與高溫熱壓制備優點為一體，并結合熔體快淬，從而能夠制備成分均勻，空隙率低，純度高，晶粒尺寸小，相變溫區跨度寬的靶材；本發明的靶材采用NiMnTi基合金，制備的薄膜具有良好的機械性能，方便后續應力調控，獲得多功能薄膜。
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