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    用于太陽能電池的高純多晶硅提純裝置

    1159   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
    2023-03-18 14:33:08
    本實用新型屬于半導體材料制備領域,具體涉及一種用于太陽能電池的高純多晶硅提純裝置,包括:熔煉造渣裝置、階梯除磷裝置、分步氧化裝置和精煉凝固裝置。本實用新型將硅液經造渣除雜后,進入階梯除磷裝置,當硅液從硅液流槽口流出時,用電子槍的高能電子束轟擊從槽口流出的硅液,從而快速的除去硅液中的磷雜質。在分步氧化裝置內用不同的精練氣體分步作用,除去硅液中的雜質硼、碳、金屬等雜質,再通過脫氣精練、定向凝固后,切除硅錠的高雜質部分,得到高純度的太陽能級多晶硅產品,實現高純多晶硅的連續工業化生產。
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