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    利用多晶硅鑄錠爐進行高效定向凝固除雜的工藝

    842   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 14:46:06
    本發明涉及冶金法多晶硅生產中高效定向凝固除雜的工藝。其技術方案是:a.預熱:對坩堝中的硅料進行緩慢預熱,預熱真空度達到0.8Pa以下,預熱溫度范圍:室溫～1200℃,預熱時間:6～10h,預熱中要求完全保溫;b.熔化:緩慢充入氬氣至60Pa,保持一定的熔化真空度;溫度為1200℃～1550℃之間,時間為5～7h,保溫;c.真空:停止充入氬氣至5Pa,保持1h,再緩慢充入氬氣至60Pa;溫度為1550～1440℃之間,真空降壓、升壓,時間為2～3h;d.定向凝固結晶:連續充入氬氣保持60Pa;溫度為1440℃～1420℃;時間:22～26h,保溫隔熱籠逐步開啟;e.冷卻:連續充入氬氣保持80Pa;降低功率1～1.5h后溫度降至1200℃,關閉功率后至300℃;冷卻時間為10～13h;保溫隔熱籠開啟。使用本發明提純除雜效果良好。提純除雜后中金屬雜質含量產品達到了6N～7N太陽能多晶硅的等級要求。
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