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    增強光電性能Zr元素摻雜AZO靶材

    915   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 14:48:02
    Zr元素摻雜AZO靶材, 采用粉末冶金法工藝方法，將原料粉ZrO2粉與AZO粉混合，使摻雜的ZrO2含量為0.5％，然后對原料粉體進行球磨處理，得到粒度細而均勻的類球形顆粒；將處理過的粉末進行裝模；裝模后進行冷等靜壓，壓力范圍100MPa～200MPa，而后進行燒制，燒制溫度范圍為1200℃～1500℃；目的是優化晶體結構和表面形貌，增強AZO薄膜的光電特性，提高薄膜的穩定性。從而完善薄膜性能、降低反應溫度、提高控制精度、降低制備成本和適應大規模生產。
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    電冶金技術
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