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    基于黑硅吸收層及多層組合膜結構的紅外探測器敏感元件

    999   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-01 00:30:09
    本發明涉及紅外氣體探測器的敏感元件，具體是一種基于黑硅吸收層及多層組合膜結構的紅外探測器敏感元件。進一步提高了熱釋電薄膜型紅外氣體探測器的檢測性能。由上至下包括紅外敏感吸收層、上電極、熱釋電薄膜組合層、下電極、熱隔離層、高熱阻抗基底；紅外敏感吸收層為具有錐狀森林形貌結構的黑硅吸收層，熱釋電薄膜組合層為若干層PT薄膜和PZT薄膜交替設置構成的PT/PZT/PT～PT/PZT/PT多層薄膜結構；結構及加工工藝合理，具備良好的熱吸收性能和熱響應性能，能用于構建高性能紅外氣體探測器，滿足環境安全、煤礦生產安全、以及?；窔怏w儲運、煤氣管道防泄、森林火災防護、工業安全生產等領域中的監測需要。
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    “基于黑硅吸收層及多層組合膜結構的紅外探測器敏感元件” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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