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    減少氮化鋁晶體生長前后熱應力的碳化鉭復合層的制備方法及其使用方法

    963   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 14:58:02
    一種減少氮化鋁晶體生長前后熱應力的碳化鉭復合層的制備方法及其使用方法，它屬于減少氮化鋁晶體生長前后熱應力的方法領域。本發明要解決的技術問題為有效控制氮化鋁晶體生長前后熱應力。本發明按照重量份數分別稱量TaC粉、Ta粉，置于球磨機中球磨，得到混合粉料進行冷等靜壓成型，然后放入鎢模具的熱壓燒結爐內，以20?30MPa的壓力進行真空燒結處理，然后降溫冷卻至室溫后表面均勻鋪灑稱量好的鋁粉，然后置于燒結爐中，以20?30MPa的壓力進行真空熱壓燒結，保溫完成后，充入高純氮氣，取消載荷，降溫后進行氮化反應后降溫冷卻至室溫，得到碳化鉭復合氮化鋁層材料再次進行高溫碳化反應得到復合層。本發明用于氮化鋁晶體。
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