本發明公開了一種高密高純碳化硅制品的制備方法,包括:將碳化硅粗粉、碳化硅細粉、低聚硅烷和纖維素衍生物進行超聲處理,將超聲后的混合料加水在捏煉機中捏煉成可塑泥料;對所述可塑泥料進行噴霧造粒,得到碳化硅造粉粒;對所述碳化硅造粉粒進行干壓一次成型,成型壓力為120~140MPa,得到濕坯,經干燥后得生坯;在惰性氣體保護下,將生坯置于真空燒結爐進行燒結反應,燒結溫度為1500℃,燒結時間為0.5~3h,得預燒結體;在惰性氣體保護下,將所述預燒結體置于真空高溫燒結爐中進行再次升溫燒結,出爐后得高密高純碳化硅制品。本發明制備的碳化硅制品具有耐高溫、高純度、高密度、成本低廉、耐腐蝕、使用壽命長的優點。
聲明:
“高密高純碳化硅制品的制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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