一種利用金剛線切割廢硅粉生產2N級低硼硅技術及工藝集成,包括以下步驟,氣流分級:將金剛線切割產生的廢硅粉烘干后作為原料,利用氣流分級機將粒徑為0.1~10um的硅粉收集,所收集的硅粉即為低硼硅粉;制坯并真空烘干:將低硼硅粉與純水混合,得到泥料,將泥料制坯后放入烘箱中真空烘干,得到干燥坯料;真空燒結:將得到的干燥坯料在燒結爐內進行高溫燒結,得到2N級低硼硅。采用的工藝徹底告別以往的酸液清洗工藝,物理法分離能有效的保證硅粉的純度及后期提純產出率,采用燒結法對硅粉進行固化,工藝路線緊湊,杜絕了二次污染。
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