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    固態參比氧分壓的ZRO2氧傳感器及其制作方法

    825   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 14:59:02
    本發明涉及一種用于汽車發動機空燃比控制的片式氧傳感器及其制作方法。它是由釔穩 定氧化鋯粉體制成的漿料通過流延工藝成型為薄片坯材，在薄片坯材的雙側分別絲網印制具 有一定孔隙的Pt電極，在釔穩定氧化鋯薄片坯材上通過二次流延工藝制備固態氧分壓參比 片，在二次流延層中間，絲網印刷RuO2材料加熱器，該層的厚度為釔穩定氧化鋯層的6-7 倍。在在釔穩定氧化鋯薄片坯材上的外電極側，流延成型多孔保護層，最后，將預制好的基 片生坯按要求尺寸沖壓成條狀，制作電極連接孔，在高達1600℃的程序升溫過程中真空燒 結，制成傳感器芯片。此方法充分利用了陶瓷片狀材料流延工藝和漿料電極的絲網印刷工藝， 具有生產工藝環節少、產品一致性高、成品率高、造價低廉的優點。
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    真空冶金
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