本發明提供了一種氧化亞硅材料及其制備方法和應用、裝置,氧化亞硅材料包括硅、金屬的硅酸鹽以及硅/金屬合金;金屬的硅酸鹽、硅/金屬合金中的金屬為堿金屬、堿土金屬中的一種或多種;制備方法包括以下步驟:在真空條件下,氧化亞硅蒸汽和金屬蒸汽混合均勻后,再通過通管進入沉積腔中降溫并進行共沉積。本發明通過讓氧化亞硅蒸汽和金屬蒸汽共沉積,金屬蒸汽會與氧化亞硅中的活性硅形成一定的合金,提高材料的導電性,同時金屬蒸汽會與氧化亞硅中的二氧化硅反應生成一定的硅酸鹽,穩定材料結構的同時也可以讓材料在首次充放電過程中的副反應減少,解決了氧化亞硅作為硅氧材料的導電性差和材料首效低的問題,同時本發明方法簡單,易于操作。
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