本發明公開了一種基于凝膠成型的碳化硅微反應器制備方法,其特征包括:(1)制備碳化硅濃懸浮液;(2)制備聚乙烯醇和水溶性酚醛樹脂混合膠水;(3)將混合膠水加入到碳化硅濃懸浮液中混合得到漿料;(4)將漿料倒入模具中,冷凍物理凝膠,解凍后自然干燥,放入烘箱中烘干,冷等靜壓,低溫燒結,酚醛樹脂固化;(5)坯體表面修形;(6)坯體排膠;(7)坯體在燒結爐中埋入硅粉進行反應燒結;(8)燒結后,對裝配面精加工,兩塊碳化硅板高溫鍵合,制備得到碳化硅微反應器。本發明中,通過聚乙烯醇物理凝膠固化,各組分分布均勻,引入的酚醛樹脂燒結后殘碳率達到60~70%,與硅液反應生成碳化硅,降低碳化硅中游離硅,致密性好。
聲明:
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