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    鋁鈧旋轉靶材及其制備方法

    824   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 15:01:02
    本發明公開了鋁鈧旋轉靶材及其制備方法，其中制備方法包括以下步驟：燒結、球磨、過篩制備鋁鈧粉末；預處理不銹鋼基體管；使用電弧噴涂方法噴涂合金打底層；在含有合金打底層的不銹鋼基體上使用可控氣氛冷噴涂方法噴涂鋁鈧粉末制備旋轉靶材，工藝參數為：使用真空機組對噴涂腔體抽取真空，再通入循環保護氣氬氣，噴嘴進口處工作溫度為300～700℃，壓力為2～5Mpa，工作氣體為氬氣，其壓力為2.5～4.5Mpa，溫度為400～900℃，氣體流量為20～50m3/h，噴涂距離為40~60mm，送粉氣流量為200～400l/h，送粉量為30～60g/min。通過本發明制備的鋁鈧旋轉靶材組織致密、純度高、成分均勻，靶材直徑和長度不受限制，長度可達到4000mm，厚度為3～15mm，靶材相對密度≥97%，純度≥99.99%，氧含量≤200ppm。
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    “鋁鈧旋轉靶材及其制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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