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    壓接式二極管管芯制作方法

    1012   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 15:02:02
    本發明公開了一種壓接式二極管管芯及制作方法，包括以下步驟：1)制備二極管擴散片，2)腐蝕電壓槽，3)電壓槽淀積多晶硅膜或氮化硅膜，4)電壓槽玻璃鈍化，5)刻蝕去除不需要多晶硅膜或氮化硅保護的大部分陰極面和陽極面區域的鈍化膜，6)芯片與鉬片的焊接，7)陰極面蒸鋁，8)陰極面鋁層選擇腐蝕，9)鋁層微合金。進一步10)管芯陽極面鉬片單面多層金屬化，11)電壓槽涂覆第三保護層。焊接前對芯片測試，剔除掉不合格芯片，避免了鉬片等浪費，不合格芯片鉬片經過處理后再次利用。電壓槽采用三層保護，降低管芯在高溫動態下測試的漏電流；鉬片設置鈦鎳銀多層金屬保護防止氧化，降低了熱阻和電阻，減少功耗。
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    聲明：
    “壓接式二極管管芯制作方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
    我是此專利(論文)的發明人(作者)
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