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    鉬鎳基多元合金旋轉靶材及其制備方法

    1216   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 15:02:21
    本發明公開了一種鉬鎳基多元合金旋轉靶材及其制備方法，旋轉靶材原子組成是Mo100?x?y?zNixTiyAlz，且X、Y、Z表示原子組成百分比，10≤X≤40，1≤Y≤20，1≤Z≤18；制備先將鉬粉、電解鎳粉和鈦鋁預合金粉末按比例混合，然后進行脫氧提純處理、進行球磨混合、灌粉振實處理、冷等靜壓成型、脫模、真空臥式燒結、旋鍛處理、退火處理得到鉬鎳鈦鋁合金管錠，最后通過機加工切片制成鉬鎳鈦鋁合金靶材。本發明制備過程能夠減少雜質元素的引入，所生產靶材成分均勻、無偏析、晶粒細小，密度可達到理論值99%以上，能夠完全滿足目前大尺寸濺射靶材的鍍膜要求。
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    “鉬鎳基多元合金旋轉靶材及其制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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