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    方法、涂覆裝置和處理設備

    970   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 15:02:22
    本發明涉及一種方法、一種涂覆裝置和一種處理設備。根據實施方案的不同形式，方法(100)可包括以下步驟：在涂覆區域(803)和收集區域(805)中產生真空；以第一主傳播方向(102e)發射固體顆粒穿過涂覆區域(803)進入收集區域(805)；以第二主傳播方向(104e)蒸發涂覆材料進入涂覆區域(803)，其中第一主傳播方向(102e)和第二主傳播方向(104e)相互成一角度延伸，使得涂覆材料蒸發繞過收集區域(805)。
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    真空冶金
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