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    電離-真空測量單元

    1214   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 15:02:25
    一種電離-真空測量單元包括：a)帶有用于待測量的真空的測量接口(8)的可抽真空的殼體(10)；b)外部的第一電極和內部的第二電極(3,4)，其以共同地軸線(7)彼此同軸地且相間隔地布置，由此在這兩個電極之間構造有測量室(20)，其與測量接口(8)連通；c)電壓源(16)，其與電極(3,4)相連接；d)電流測量器件(17)，用于評估在電極(3,4)之間構造的放電電流；e)至少一個永磁體環(1)，其包圍電極(3,4)的同軸組件，帶有徑向于軸線取向的磁化方向(13)且帶有包圍該永磁體環(1)的軟磁軛(2)，其中，軛(2)在軸向上在兩側引導遠離永磁體環(1)并且在與永磁體環(1)的預設的間距(d)之后在兩側上在徑向上朝向軸線(7)和第一電極(3)來引導，這樣使得軛(2)在兩側、與永磁體環(1)相間隔地構造兩個環形的極(9a,b)，永磁體環(1)的場線的至少一部分經由其在測量室(20)內穿過電極(3)地閉合。
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    “電離-真空測量單元” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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    真空冶金
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