本實用新型公開了一種電子束熔煉爐,包括一帶有進料口及出料口的爐體,爐體的一側設進料機構,爐體內由前至后依次置有水平坩堝、鑄錠坩堝;所述的水平坩堝置于進料口處,鑄錠坩堝緊挨水平坩堝之后且位置低于水平坩堝;在水平坩堝與鑄錠坩堝的上方均固定有電子槍;還包括一用于完成送料、熔煉及出料全過程的電機拖動系統,該拖動系統的拖錠機構承載鑄錠并控制其升降;該電子束熔煉爐配有真空系統及電控柜和觀察窗;所述進料機構至少為整料進料裝置和散料進料裝置中的一種;水平坩堝和鑄錠坩堝上方均至少固定有一把大功率電子槍。其適用于各種難熔金屬、合金與其化合物和復合材料,尤其是多晶硅。
聲明:
“電子束熔煉爐” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)