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    多晶硅還原爐尾氣防護罩、多晶硅還原爐及多晶硅生產系統

    870   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 18:04:01
    本實用新型屬于多晶硅的生產設備技術領域，涉及多晶硅還原爐尾氣防護罩、多晶硅還原爐及多晶硅生產系統。本實用新型的多晶硅還原爐尾氣防護罩，包括圓柱形側壁，所述圓柱形側壁的頂端連接封閉的頂蓋，所述圓柱形側壁的低端連接尾氣出氣口；所述圓柱形側壁上開設有多個周向均布的排氣通孔；所述防護罩為碳－碳復合材料防護罩。本實用新型能夠有效防止硅塊進入尾氣管線，避免尾氣管線堵塞，又能保證還原爐尾氣的正常流通，大大減小清理尾氣管線的工作量。
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