本實用新型公開了一種玻璃集成光學器件中光波導結構,包括玻璃基片,所述玻璃基片的內側壁粘接有鈮酸鋰層,所述鈮酸鋰層的下表面粘接有芯層,所述玻璃基片的外側壁涂覆有掩模層,所述掩模層的上方設有板體,所述板體靠近掩模層的一側粘接有錫簸紙,所述錫簸紙遠離板體的一側粘接于掩模層遠離玻璃基片的一側,所述板體與玻璃基片的外側壁涂覆有光刻膠層,所述光刻膠層的上表面粘接有下包層,所述下包層的上表面粘接有上包層;本光波導結構通過設置玻璃基片、鈮酸鋰層與芯層,具有良好的電光特性,可以大大降低器件功耗,具有最低的傳輸損耗和與光纖的耦合損耗,而且成本低廉。
聲明:
“玻璃集成光學器件中光波導結構” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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