本發明公開了一種PPLN光波導制備方法,尤其是二維質子交換MgO:PPLN脊波導的制備方法。所述制備方法拋光晶體端表面,切割晶體形成脊波導,對脊波導和襯底鍍金屬保護膜后清洗掉脊波導表面的金屬保護膜后,對脊波導進行二維質子交換、退火處理進而形成MgO:PPLN脊波導。本發明只需鈮酸鋰一種晶體材料,降低了器件的材料成本;且制備工藝簡單、性能穩定、成本低廉,在激光變頻領域具有廣闊的應用前景。
聲明:
“二維質子交換MgO:PPLN脊波導的制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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