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    通過重復利用無氮黑硅清洗液對硅片進行制絨的方法

    1059   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 03:43:21
    本發明公開了一種通過重復利用無氮黑硅清洗液對硅片進行制絨的方法，包括：(1)將硅片浸入含有銅鹽、氫氟酸和雙氧水的黑硅制絨液中進行制絨；(2)用去離子水清洗制絨后的硅片，吹干；(3)采用包含選自氫氟酸、鹽酸、硫酸和醋酸中的一種或多種酸以及雙氧水的無氮黑硅清洗液清洗吹干后的硅片；(4)用去離子水清洗無氮黑硅清洗液清洗后的硅片，吹干，制得具有絨面結構的硅片；和(5)重復步驟(1)至(4)，直至無氮黑硅清洗液達到使用壽命，以達到使用壽命的無氮黑硅清洗液為原料配制所述黑硅制絨液。本發明方法可以簡單、有效地實現無氮黑硅清洗液特別是其中的金屬離子的重復利用，降低了制絨成本和廢水處理成本，綠色環保。
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    聲明：
    “通過重復利用無氮黑硅清洗液對硅片進行制絨的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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