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    半導體器件的應力測量裝置以及方法

    776   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 06:32:24
    本發明提供的一種半導體器件的應力測量裝置以及應力測量方法，涉及半導體技術領域，包括：基臺包括相對設置的第一臺座和第二臺座；第一承接件活動裝配在第一臺座上，第一承接件上活動裝配有至少兩個第一滾軸；第二承接件活動裝配在第二臺座上，第二承接件上活動裝配有至少兩個第二滾軸；兩個第一滾軸相互平行并構成第一平面，兩個第二滾軸相互平行并構成第二平面，第一平面與第二平面相互平行，第一承接件的移動軌跡與第一平面垂直，第二承接件的移動軌跡與第二平面垂直。在上述技術方案中，滾軸可以使晶圓試樣內的半導體器件內部受到均勻的單軸應力，避免晶圓由于施加外力不當而斷裂。
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    聲明：
    “半導體器件的應力測量裝置以及方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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