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    沉積量測定裝置、沉積量測定方法及電化學元件用電極的制造方法

    877   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 06:46:32
    本發明提供一種沉積量測定裝置、沉積量測定方法及電化學元件用電極的制造方法。本發明的制造方法包括向附加了與鋰形成化合物的層的基板沉積鋰的工序。在沉積工序之前，對基板照射第一β射線及第二β射線，測定第一β射線及第二β射線的來自基板的背向散射。在沉積工序之后，向基板照射第一β射線及第二β射線，測定第一β射線及第二β射線的來自基板的背向散射。計算沉積工序前后的第一β射線的背向散射的減少量及第二β射線的背向散射的減少量。根據第一β射線的背向散射的減少量及第二β射線的背向散射的減少量，進行沉積工序的控制。
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