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    電子回旋共振微波等離子體增強金屬有機化學汽相沉積外延系統與技術

    890   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 06:55:29
    一種寬運行氣壓范圍無離子損傷的ECR微波等離子體增強低溫外延系統與技術,系統由腔耦合型ECR微波等離子體源、真空系統、配氣系統、檢測與分析及計算機數據采集與控制系統組成;配置有帶差分抽氣結構的RHEED,可實現原子尺度控制生長的原位實時監測。是適于單質和多元素化合物薄膜,復雜層狀結構,超薄層微結構材料生長的高精密低溫外延系統與技術;還能滿足等離子體與生長表面的相互作用等相關基礎研究的要求。
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