• <tr id="qwu6y"></tr>
  •
    • <menu id="qwu6y"><wbr id="qwu6y"></wbr></menu>
  • 合肥金星智控科技股份有限公司
    宣傳

    位置：中冶有色 >

    有色技術頻道 >

    有色金屬技術

    礦山技術

    冶金技術

    材料制備及加工技術

    環境保護技術

    分析檢測技術

    > 分析檢測技術

    > 化學分析技術

    > 化學機械研磨設備工藝能力的監控方法

    化學機械研磨設備工藝能力的監控方法

    886   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 07:00:47
    本發明提供了一種化學機械研磨設備工藝能力的監控方法，在所述晶圓的邊緣上形成多個測試區域，然后在每個所述測試區域中形成沿著所述測試區域長度方向排布的金屬線，對所述晶圓進行化學機械研磨工藝后，所述金屬線的厚度也會隨之改變，獲取每個所述金屬線的電阻分布圖，由于所述金屬線的截面寬度處處相等，所述金屬線的電阻僅與所述金屬線的厚度相關，可以根據所述電阻分布圖可以反饋出所述化學機械研磨設備工藝能力的好壞，實現在線監控所述化學機械研磨設備工藝能力，當所述化學機械研磨設備工藝能力不滿足控制要求時，可以及時的調整化學機械研磨設備的工藝參數，防止批量性不良品的產生，提高了晶圓的良率，從而降低了制造成本。
    登錄解鎖全文
    聲明：
    “化學機械研磨設備工藝能力的監控方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
    我是此專利(論文)的發明人(作者)
    分享 0
             
    舉報 0
    收藏 0
    反對 0
    點贊 0
    標簽：
    化學分析
    上一個：化學注入撬的安全防護裝置
    下一個：化學試劑管理方法

    與 “化學機械研磨設備工藝能力的監控方法” 相關技術

    ? 具有高浸潤性的耐高溫鋰離子電池隔膜及其制備方法
    ? 鍍錫銅線制備用銅絲處理裝置
    ? 金屬礦山井下超前探水的方法
    ? 金屬礦山井下隨行供電裝置及掘進設備
    ? 金屬礦山富水巖層中深豎井水害綜合治理方法
    ? BOPP邊條回收破碎機進料裝置
    ? 用于立軸沖擊破碎機的電機座調整裝置
    ? 稀土硅合金生產用碎粒裝置
    ? 輥式破碎機壓輥輥面修復裝置
    ? 擺動對輥破碎機

    相關化學分析設備推薦

    腐蝕疲勞試驗機
    土壤墑情速測儀價格 土壤監測儀
    便攜式土壤張力計
    土壤水分觀測監測系統
    手推式VOC氣體檢測儀
    全國熱門有色金屬技術推薦
    江蘇通用技術 北京礦山技術 江蘇冶金技術 北京冶金技術 江蘇材料制備及加工技術 常州材料制備及加工技術 江蘇新能源材料技術 江蘇加工技術 北京材料制備及加工技術 福建材料制備及加工技術 江蘇環境保護技術 江蘇廢水處理技術 江蘇固/危廢處置技術 北京環境保護技術 北京廢水處理技術
    展開更多 +

     

    中冶有色技術平臺

    最新更新技術

    ?具有高浸潤性的耐高溫鋰離子電池隔膜及其制備方法
    ?鍍錫銅線制備用銅絲處理裝置
    ?金屬礦山井下超前探水的方法
    ?金屬礦山井下隨行供電裝置及掘進設備
    ?金屬礦山富水巖層中深豎井水害綜合治理方法
    ?BOPP邊條回收破碎機進料裝置
    ?用于立軸沖擊破碎機的電機座調整裝置
    ?稀土硅合金生產用碎粒裝置
    ?輥式破碎機壓輥輥面修復裝置
    ?擺動對輥破碎機

    報名參會
    更多+

    第七屆有色金屬分析檢測與標準化技術交流會
    第七屆有色金屬分析檢測與標準化技術交流會
    2025年07月23日 ~ 26日
    第二屆退役新能源器件循環利用技術交流會
    第二屆退役新能源器件循環利用技術交流會
    2025年07月24日 ~ 26日
    2025賀蘭山新材料高端論壇
    2025賀蘭山新材料高端論壇
    2025年07月24日 ~ 26日
    2025綠色低碳鋼鐵行業關鍵技術交流會
    2025綠色低碳鋼鐵行業關鍵技術交流會
    2025年07月24日 ~ 26日
    2025微納結構金屬間化合物與高熵合金技術交流會
    2025微納結構金屬間化合物與高熵合金技術交流會
    2025年08月01日 ~ 03日

    報告下載

    1 礦產品能力驗證計劃中樣品的選取
    下載:139
    2 取、制樣安全淺析
    下載:131
    3 取、制樣現狀及未來規劃/需求
    下載:108
    4 自動化樣品制備助力準確高效的礦
    下載:99
    5 樣品變質引起采制樣和結算問題
    下載:96
    6 淺談質量檢驗管理風險防控的重點
    下載:95
    7 礦產品人工取樣方案的制定及案例
    下載:93
    8 用于X熒光分析的樣品前處理及其
    下載:91
    9 不均勻樣品給第三方檢測機構和貿
    下載:90
    10 非常規礦產品取制樣方法的探討
    下載:89
    赤泥綜合利用研究報告2025
    推廣

    熱門技術
    更多+

    1防爆閥保護膜
    2壓力平衡機構
    3水電站的尾水預埋件
    4化工礦產有色金屬的檢測機構
    5礦石分類與實時定量分析的光譜檢測新方法
    6礦石中有色金屬成分和含量的檢測裝置
    7有色金屬現貨狀態評估系統及方法
    8有色金屬廢料中鐵磁性雜質檢測設備及檢測工藝
    9高溫熔體緩冷裝置及渣包測溫方法
    10便攜式礦山測量激光儀
    衡水宏運壓濾機有限公司
    宣傳
    環磨科技控股（集團）有限公司
    宣傳

    發布

    在線客服

    公眾號

    電話

    頂部
    咨詢電話：
    010-88793500-807
    專利人/作者信息登記
    久爱国产精品一区免费视频_无码国模国产在线观看_久久久久精品国产亚洲A_国产综合精品无码
    • <tr id="qwu6y"></tr>
  •
    • <menu id="qwu6y"><wbr id="qwu6y"></wbr></menu>