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    化學氣相淀積反應器及反應腔

    1130   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 07:01:16
    本實用新型揭示了一種用于化學氣相淀積反應器及其反應腔。其中,加熱裝置由若干單獨測控的扇形加熱單元組成,在所述扇形加熱單元之間可以放置襯底載盤支撐或反應腔頂蓋支撐。所述加熱裝置具有結構簡單,操作與維修方便,制造和使用成本低等優點,適用于大直徑化學氣相淀積反應器反應腔中加熱環形或圓形或由若干扇形襯底載盤單元組成的環形或圓形襯底載盤。
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