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    用于離子傳感器的氫終端金剛石表面電化學修復方法

    864   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 07:03:19
    一種用于離子傳感器的氫終端金剛石表面電化學修復方法，屬于半導體基礎電路用基體材料制備領域。具體步驟為：a.利用氫氣等離子體處理，使金剛石形成表面p型導電溝道，使其實現半導體化；b.采用真空蒸鍍的方法在其光刻顯影后的金剛石表面制備特定圖案的電極，使氫終端金剛石實現電導通；c.將導線通過融焊法或銀漿與金電極聯結；d.在電極和導線上覆蓋一層硅膠保護涂層，避免金屬在強腐蝕酸堿溶液中受到損傷；e.將金剛石導線接于工作電極與對電極間，在不同離子溶液下模擬實際環境測試；f.將測試后的金剛石作為工作電極置于強無機酸溶液中，對其進行0～?3V的負電位線性掃描。最終實現由于表面終端損傷而電阻升高的金剛石表面氫終端得到修復，使表面電阻下降。
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