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    化學機械平坦化工藝中晶圓邊緣區域平整度優化方法

    898   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 07:03:19
    本發明公開的化學機械平坦化工藝中晶圓邊緣區域平整度優化方法，其步驟為：使用膜厚測量儀測量晶圓的表面形貌，計算并對比邊緣區域及中心區域的膜厚均值；在1#拋光盤上采用調整保持環的壓力及改變拋光盤與拋光頭之間的轉速差相結合的分步平坦化方式進行全局粗拋；在2#拋光盤上采用調整保持環壓力及改變拋光盤與拋光頭之間轉速差相結合的分步平坦化方式進行邊緣區域平整度改善精拋；在3#拋光盤上使用低壓等離子水沖洗晶圓表面。在1#、2#拋光盤上晶圓邊緣區域的改善策略為：根據晶圓邊緣膜厚與中心膜厚值，調整保持環壓力并改變拋光盤與拋光頭之間轉速差。本發明提供的晶圓邊緣區域平整度優化方法，步驟合理，有效改善邊緣區域平整度和片內均勻性。
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    化學分析
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