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    具有InAlN背勢壘層的重金屬離子檢測傳感器

    1146   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 07:17:28
    本發明公開了一種具有InAlN背勢壘層的重金屬離子檢測傳感器，屬于半導體、化學傳感技術領域。所述重金屬離子檢測傳感器，包括：襯底材料上依次形成的成核層、緩沖層、InAlN背勢壘層、溝道層、勢壘層、鈍化層以及源極、漏極和柵極；本發明引入InAlN背勢壘結構抬高了緩沖層勢壘，降低了器件的寄生效應、抑制緩沖層漏電流，從而提高了傳感器檢測的可靠性；采用半胱氨酸溶液修飾柵極，半胱氨酸的羧基和氨基與重金屬離子結合成螯合物的能力較強，提高了提高傳感器的靈敏度；且半胱氨酸材料無毒害、自組裝修飾效果好，修飾時間較短，操作簡便，有效地改善檢測環境，降低了器件的生產成本。
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    “具有InAlN背勢壘層的重金屬離子檢測傳感器” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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