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    納電子器件性能測試用的器件結構及制備方法

    1109   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 07:27:45
    本發明涉及一種納電子器件性能測試用的器件結構及制備方法。它是在硅襯底材料上先沉積底電極材料,然后沉積電介質材料,曝光,刻蝕成多孔狀,孔徑在50-200nm,間距2-5μm,接著向孔內沉積相變材料,化學機械拋光,覆蓋掩膜板,沉積上電極。于是薄膜就被掩膜板分成很多小單元,而每個單元大小差不多,引線,簡單封裝,每個單元內的小器件處于并聯狀態,然后測試每個單元的性能。此外,可以通過改變掩模板的大小,把上電極做成各種尺寸,畫出一次函數關系,通過外延法得出截距,從而得到納米器件的本征性能。本發明解決了納米器件測量引線難的問題。由于這些小器件是并聯的,不會增加工作電壓,準確的反映出器件本身的性能。
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    “納電子器件性能測試用的器件結構及制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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