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    微機械的氣體傳感器裝置和相應的制造方法

    733   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 07:31:49
    本發明提出一種微機械的氣體傳感器裝置和一種相應的制造方法。該微機械的氣體傳感器裝置包括：襯底；設置在襯底上的多孔區域，該多孔區域帶有背離襯底的頂面、面向襯底的底面、側面，該側面可被要感測的氣體流過；至少局部地遮蓋頂面的覆蓋區域，其中，該覆蓋區域具有一個或多個氣體輸入通道，經由所述氣體輸入通道可把氣體引入到多孔區域內；用于產生電磁信號的信號產生機構，所述電磁信號可以在多孔區域內部的氣體中傳播；用于在氣體中傳播之后接收電磁信號的信號接收機構；和分析機構，用來基于電磁信號在氣體中傳播時的變化來獲取氣體的至少一個化學的或物理的參數。
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    “微機械的氣體傳感器裝置和相應的制造方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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