本實用新型涉及電子化學品生產設備領域,提供一種電子級超純氨水的吸收裝置,包括超純氨氣進氣管、超純水進水管、吸收塔、出料管,所述吸收塔為逆流操作的填料塔,包括位于上部的塔體與位于下部的塔釜,塔體內部包括從上至下依次設置的分布器、第一填料、第二填料,塔釜底部連接有一循環管且循環管的另一端與分布器上方的塔體側壁相連,循環管從下端到上端依次設有隔膜泵、過濾單元、檢測單元,檢測單元與循環管上端之間的循環管上連接有出料管。該裝置循環充分,循環效率高,降低了成本;且料液在循環時還通過設在循環管上的過濾單元,可以去除在吸收塔內或是循環過程中引入的雜質,提高了終產品的純度。
聲明:
“電子級超純氨水的吸收裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)