本發明公開了一種激光內腔雙光譜石英增強型痕量氣體傳感系統及方法,所述一種激光內腔雙光譜石英增強型痕量氣體傳感系統包括激光裝置、氣體傳感器和輸出裝置,氣體傳感器具有進氣孔和出氣孔,內部設置音叉,音叉的兩叉臂中間左側設置第一準直器,右側設置第二準直器,音叉的叉底右側設置第三準直器,左側設置第四準直器,音叉的叉底通過化學蝕刻去除金屬薄膜,第一準直器和第四準直器皆與激光裝置相連,第二準直器通過光纖連接第三準直器,氣體傳感器的輸出端連接輸出裝置,第一準直器與音叉之間設置聲波增強結構,第二準直器與音叉之間設置聲波增強結構,本發明結構簡單合理,可進一步提高氣體的檢測精度。
聲明:
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