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    拋光機

    941   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:13:34
    本實用新型涉及化學機械拋光技術領域，具體而言，涉及一種拋光機；拋光機包括基盤、拋光墊、拋光頭、溫度傳感器和水冷組件，拋光墊設置于基盤的第一端面；拋光頭設置于拋光墊的上方，且拋光頭用于設置待拋光的晶片，在晶片設置于拋光頭的情況下，晶片位于拋光頭和拋光墊之間；溫度傳感器設置于基盤，用于檢測拋光墊的溫度；水冷組件用于將冷卻水輸送至基盤的第二端面。本實用新型的拋光機能夠改善拋光溫度控制的誤差和滯后性，提高控制的準確性和穩定性，進而改善拋光的質量和成功率。
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    “拋光機” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
    我是此專利(論文)的發明人(作者)
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