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    三元系弛豫鐵電薄膜材料及其制備方法和應用

    1089   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 00:50:02
    本發明涉及一種三元系弛豫鐵電薄膜材料及其制備和應用，材料的化學組成為(1?x?y)Pb(In1/2Nb1/2)O3?yPb(Mg1/3Nb2/3)O3?xPbTiO3?zMn，其中x＝0.20～0.40，y＝0.18～0.60，z＝0.003～0.03，包括以下步驟：(a)將MnO2、In2O3、Nb2O5、MgO、PbO和TiO2混合，后依次進行球磨、烘干、過篩、預燒、造粒、壓片和燒結，得到Mn?PIN?PMN?PT陶瓷靶材；(b)將SrTiO3單晶依次置于丙酮、乙醇和去離子水中進行超聲洗滌，后干燥，得到襯底；(c)以激光濺射的方式，將SrRuO3陶瓷靶在襯底上進行沉積處理，后進行退火處理，得到底電極；(d)以激光濺射的方式，將Mn?PIN?PMN?PT陶瓷靶材在底電極有上進行沉積處理，后進行退火處理，得到薄膜材料。與現有技術相比，本發明的薄膜具有純鈣鈦礦結構，且具有優異的鐵電和壓電性能，以及較高的居里溫度和三方?四方相變溫度。
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