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    薄膜微帶電路的制備工藝

    952   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:56:51
    本發明提供一種薄膜微帶電路的制備工藝，它包括有以下步驟：1）、清洗：基板表面的污漬清洗干凈；2）、濺射：通過物理氣相沉積的方法將金屬薄膜制備在基板表面；3）、光刻：通過勻膠、曝光、顯影將薄膜電路圖形從掩模版上以光刻膠的形式轉移到基板表面；4）、蝕刻：采用化學腐蝕的方法去除不需要的金屬薄膜，最終在基板上留下微帶電路；5）、表面處理：利用電鍍的方法在薄膜電路表面制備金層；6）、劃片：用切割機將制備在基板上的薄膜電路切割成單個薄膜電路基片；測試即成。本方案制備的薄膜電路參數范圍寬、精度高、溫度頻率特性好，批次一致性好、可靠性高。
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    聲明：
    “薄膜微帶電路的制備工藝” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
    我是此專利(論文)的發明人(作者)
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