• <tr id="qwu6y"></tr>
  •
    • <menu id="qwu6y"><wbr id="qwu6y"></wbr></menu>
  • 合肥金星智控科技股份有限公司
    宣傳

    位置：中冶有色 >

    有色技術頻道 >

    有色金屬技術

    礦山技術

    冶金技術

    材料制備及加工技術

    環境保護技術

    分析檢測技術

    > 分析檢測技術

    > 化學分析技術

    > 用于多晶硅拋光的低凹陷二氧化硅顆粒的水性組合物

    用于多晶硅拋光的低凹陷二氧化硅顆粒的水性組合物

    927   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:56:51
    本發明提供一種水性化學機械平面化(chemical?mechanical?planarization；CMP)拋光組合物，其包括以下的混合物：(a)一種或多種烷氧基化二胺，其數均分子量(Mn)為1,000到20,000或優選地1000到15000并且具有各自含有5到100個烷氧基重復單元的四個(聚)烷氧基醚基；(b)以所述組合物的總重計，0.01wt.％到2wt.％或優選地0.1wt.％到1.5wt.％呈固體的伸長、彎曲或結節狀膠體二氧化硅顆粒的一種或多種水性分散體，如通過動態光散射(dynamic?light?scattering；DLS)所測定，所述一種或多種粒水性分散體的二次粒徑為20nm到60nm；以及(c)氨或胺堿，其中所述組合物的pH在9到11的范圍內。所述組合物基本上不含金屬，如在拋光時可能損壞襯底的堿或堿土金屬。
    登錄解鎖全文
    聲明：
    “用于多晶硅拋光的低凹陷二氧化硅顆粒的水性組合物” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
    我是此專利(論文)的發明人(作者)
    分享 0
             
    舉報 0
    收藏 0
    反對 0
    點贊 0
    標簽：
    化學分析
    上一個：面向動態噪聲環境的全覆蓋任務分配方法
    下一個：試樣的制備方法

    與 “用于多晶硅拋光的低凹陷二氧化硅顆粒的水性組合物” 相關技術

    ? 具有高浸潤性的耐高溫鋰離子電池隔膜及其制備方法
    ? 鍍錫銅線制備用銅絲處理裝置
    ? 金屬礦山井下超前探水的方法
    ? 金屬礦山井下隨行供電裝置及掘進設備
    ? 金屬礦山富水巖層中深豎井水害綜合治理方法
    ? BOPP邊條回收破碎機進料裝置
    ? 用于立軸沖擊破碎機的電機座調整裝置
    ? 稀土硅合金生產用碎粒裝置
    ? 輥式破碎機壓輥輥面修復裝置
    ? 擺動對輥破碎機

    相關化學分析設備推薦

    多功能土壤養分速測儀
    延伸率拉力試驗機
    大氣環境檢測儀
    電液伺服萬能材料試驗機（60t）
    CLH100硫化氫測定器
    全國熱門有色金屬技術推薦
    江蘇通用技術 北京礦山技術 江蘇冶金技術 北京冶金技術 江蘇材料制備及加工技術 常州材料制備及加工技術 江蘇新能源材料技術 江蘇加工技術 北京材料制備及加工技術 福建材料制備及加工技術 江蘇環境保護技術 江蘇廢水處理技術 江蘇固/危廢處置技術 北京環境保護技術 北京廢水處理技術
    展開更多 +

     

    中冶有色技術平臺

    最新更新技術

    ?具有高浸潤性的耐高溫鋰離子電池隔膜及其制備方法
    ?鍍錫銅線制備用銅絲處理裝置
    ?金屬礦山井下超前探水的方法
    ?金屬礦山井下隨行供電裝置及掘進設備
    ?金屬礦山富水巖層中深豎井水害綜合治理方法
    ?BOPP邊條回收破碎機進料裝置
    ?用于立軸沖擊破碎機的電機座調整裝置
    ?稀土硅合金生產用碎粒裝置
    ?輥式破碎機壓輥輥面修復裝置
    ?擺動對輥破碎機

    報名參會
    更多+

    第七屆有色金屬分析檢測與標準化技術交流會
    第七屆有色金屬分析檢測與標準化技術交流會
    2025年07月23日 ~ 26日
    第二屆退役新能源器件循環利用技術交流會
    第二屆退役新能源器件循環利用技術交流會
    2025年07月24日 ~ 26日
    2025賀蘭山新材料高端論壇
    2025賀蘭山新材料高端論壇
    2025年07月24日 ~ 26日
    2025綠色低碳鋼鐵行業關鍵技術交流會
    2025綠色低碳鋼鐵行業關鍵技術交流會
    2025年07月24日 ~ 26日
    2025微納結構金屬間化合物與高熵合金技術交流會
    2025微納結構金屬間化合物與高熵合金技術交流會
    2025年08月01日 ~ 03日

    報告下載

    1 礦產品能力驗證計劃中樣品的選取
    下載:139
    2 取、制樣安全淺析
    下載:131
    3 取、制樣現狀及未來規劃/需求
    下載:108
    4 自動化樣品制備助力準確高效的礦
    下載:99
    5 樣品變質引起采制樣和結算問題
    下載:96
    6 淺談質量檢驗管理風險防控的重點
    下載:95
    7 礦產品人工取樣方案的制定及案例
    下載:93
    8 用于X熒光分析的樣品前處理及其
    下載:91
    9 不均勻樣品給第三方檢測機構和貿
    下載:90
    10 非常規礦產品取制樣方法的探討
    下載:89
    赤泥綜合利用研究報告2025
    推廣

    熱門技術
    更多+

    1防爆閥保護膜
    2壓力平衡機構
    3水電站的尾水預埋件
    4化工礦產有色金屬的檢測機構
    5礦石分類與實時定量分析的光譜檢測新方法
    6礦石中有色金屬成分和含量的檢測裝置
    7有色金屬現貨狀態評估系統及方法
    8有色金屬廢料中鐵磁性雜質檢測設備及檢測工藝
    9高溫熔體緩冷裝置及渣包測溫方法
    10便攜式礦山測量激光儀
    衡水宏運壓濾機有限公司
    宣傳
    環磨科技控股（集團）有限公司
    宣傳

    發布

    在線客服

    公眾號

    電話

    頂部
    咨詢電話：
    010-88793500-807
    專利人/作者信息登記
    久爱国产精品一区免费视频_无码国模国产在线观看_久久久久精品国产亚洲A_国产综合精品无码
    • <tr id="qwu6y"></tr>
  •
    • <menu id="qwu6y"><wbr id="qwu6y"></wbr></menu>