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    薄膜縱向不均勻性檢測方法、裝置及終端和檢測系統

    1177   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
    2023-03-19 08:58:04
    本發明公開一種薄膜縱向不均勻性檢測方法、裝置、檢測系統以及終端,涉及薄膜檢測技術領域,以提高無損檢測薄膜縱向不均勻性方法的適用范圍。該薄膜縱向不均勻性檢測方法包括:接收被測樣品的橢偏光譜曲線信息,被測樣品至少包括被測薄膜;根據被測樣品的特性建立各向同性的物理模型,物理模型至少包括薄膜模型;將薄膜模型所含有的至少一個變量參數轉換為梯度化變量參數;以被測樣品的橢偏光譜曲線信息為曲線擬合目標,利用薄膜模型對梯度化變量參數進行曲線擬合,獲得被測樣品的光電參數在被測樣品縱向方向上的變化曲線信息;根據變化曲線信息確定被測樣品的縱向不均勻性。本發明用于薄膜縱向不均勻性檢測。
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