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    多重服役條件下柔性鐵電薄膜的PFM檢測方法

    815   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:58:22
    本發明公開了一種多重服役條件下柔性鐵電薄膜的PFM檢測方法，包括：將柔性鐵電薄膜與導電彎曲載臺裝配，形成彎曲服役柔性鐵電薄膜；將彎曲服役柔性鐵電薄膜與溫控載臺裝配，形成雙重服役柔性鐵電薄膜；將雙重服役柔性鐵電薄膜與高壓載臺裝配，形成多重服役柔性鐵電薄膜；利用PFM檢測多重服役柔性鐵電薄膜的性能。本方法采用PFM作為觀測手段，操作方便，可無損觀測到樣品納米級的疇結構和電學性能，為柔性鐵電薄膜的微觀作用機制提供了可靠的研究手段；將PFM儀器中溫控載臺與高壓載臺進行了組裝與聯用，使儀器既可以在高溫下，又可以在高壓下測量柔性鐵電薄膜的性能，為鐵電存儲器在高溫環境下的工作狀態提供實驗依據。
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