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    一體化雙視場實時薄膜微變形測量儀

    802   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:58:28
    本實用新型公開了屬于光電無損檢測和精密機械領域的一體化雙視場實時薄膜微變形測量裝置及方法。檢測裝置的激光器、光分束器、擴束鏡、成像透鏡、固體攝像機及全反鏡等組成面內、離面ESPI檢測單元按光路連接分別安置在一光學隔振平臺上;單軸拉伸與彎曲微力加載單元MFU置于雙視場光路中。本方法是按薄膜單軸變形與軸向拉伸微力測量同時進行,利用面內ESPI干涉單元和離面ESPI干涉單元分別對被測膜表面和測力彈性梁彎曲面的散斑圖進行記錄和處理,按通用計算方法計算出被測膜的各種力學參數。適用微米到亞微米厚度薄膜力學性能檢測與分析。
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    “一體化雙視場實時薄膜微變形測量儀” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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