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    集成式電磁電容平面陣列傳感器及其制備方法

    1073   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:58:44
    本發明公開了一種集成式電磁電容平面陣列傳感器及其制備方法，傳感器包括兩面均帶有導電金屬層的基底，基底下表面的導電金屬層包括刻蝕形成的主電極和次電極、上表面的導電金屬層包括刻蝕形成的渦流檢測線圈，主電極為長條狀且彎曲呈蛇形走線狀布置，次電極的數量為多個且分別布置于主電極的凹入區域內構成直線型陣列結構，渦流檢測線圈和對應的次電極中心重合且在基底的上表面上構成直線型陣列結構；制備方法包括在基底上電鍍導電金屬層并刻蝕形成主電極、次電極以及渦流檢測線圈。本發明能夠基于電磁渦流法和平面電容法實現熱障涂層的厚度/缺陷/構件金屬基底缺陷等全面無損檢測，具有結構簡單、檢測效率高、檢測范圍全面、通用性好的優點。
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