本實用新型公開了一種晶粒分類機,包括架體、晶粒吸取裝置、晶圓承載盤、視覺檢測裝置以及控制裝置。晶粒吸取裝置可旋轉設置于架體上,晶粒吸取裝置包括吸嘴;晶圓承載盤設置于架體上且可被控制得能在yz平面內移動,晶圓承載盤具有一晶圓承載槽;視覺檢測裝置與晶粒吸取裝置并列排設于架體上,視覺檢測裝置用于獲取晶粒吸取裝置中吸嘴的圖像信息,以及用于獲取吸嘴吸取目標晶粒后的圖像信息;控制裝置連接晶粒吸取裝置、晶圓承載盤以及視覺檢測裝置,至少用于控制晶圓承載盤的移動,控制晶粒吸取裝置以及視覺檢測裝置的運作。本實用新型的晶粒分類機能夠準確地且無損的挑起并吸取晶粒,提高晶粒的挑選良率。
聲明:
“晶粒分類機” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)