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    基于熱壓工藝的柔性多層膜超材料制備及表征方法

    1117   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:58:48
    一種基于熱壓工藝的柔性多層膜超材料制備及表征方法。包括針對常規柔性多層膜的熱壓模具、熱壓環境、后期淬火方法和太赫茲波譜無損表征手段。該多層膜超材料制備及表征方法，依據COMSOL軟件對熱壓模型熱傳遞的仿真模擬結果所確定的熱壓溫度，通過調控壓制溫度、淬火時間來實現多層膜超材料的制備，同時輔助高分辨率的真空太赫茲時域光譜無損檢測手段對其進行壓制性能的表征，相較常規的電子束刻蝕(EBL)、聚焦離子束(FIB)、干涉刻蝕(IL)和納米壓印刻蝕(NIL)技術等多層柔性材料制備技術，此方法具有低成本、高精度、可制備大面積多層膜超材料等特點。
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