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    測試結構、失效分析定位方法及失效分析方法

    1007   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:59:29
    本發明提供了一種測試結構，包括蛇形金屬線和兩個相對交錯設置的測試梳狀結構，每個測試梳狀結構分成至少兩個子梳狀結構，且每個所述測試梳狀結構中的相鄰兩個所述子梳狀結構之間具有間隔，且每個所述測試梳狀結構中的至少一個所述間隔處的所述蛇形金屬線的至少一個拐彎部位上引出有焊盤。即通過上述方法將所述測試結構分成了若干個小面積的測試結構，能夠解決EBIRCH不能定位到超大面積結構nA級別漏電的短路點的問題；同時結合電阻比例法，以使得EBIRCH能輕易定位到超大面積結構nA級別漏電的短路點，從而找到失效的根本原因，對解決工藝問題以及促進研發進度能有很大的幫助。
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