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    電性失效分析方法

    909   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:59:29
    本發明涉及半導體制造技術領域，尤其涉及一種電性失效分析方法，利用存儲單元的電流拼圖進行一種直觀性，準確性和高效性的電性分析測試，電流高低不同的存儲單元會以深淺不一的顏色顯示出來，而不是像比特拼圖只能表示存儲單元是處于‘0’還是‘1’狀態，可以清楚地知道失效地址是硬失效還是邊緣失效，因此發現一些比特拼圖不能發現電性失效圖案對應的物理位置，給后續物理失效分析指明確切的分析方向，從而提高分析效率和失效案例的命中率。
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    聲明：
    “電性失效分析方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
    我是此專利(論文)的發明人(作者)
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    失效分析
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