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    > 基于RTS的MEMS面內高g加速度傳感器

    基于RTS的MEMS面內高g加速度傳感器

    847   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 09:00:41
    本發明涉及MEMS傳感器,具體是一種基于RTS的MEMS面內高g加速度傳感器。解決了現有MEMS高g加速度傳感器結構不易實現水平向加速度測量、檢測結果易受溫度影響等問題,包括硅基框架、質量塊,質量塊兩側分別通過獨立支撐梁、兩組合梁與硅基框架固定,獨立支撐梁沿質量塊中心線設置,兩組合梁以質量塊中心線為對稱軸對稱設置;組合梁含檢測梁、兩連接梁,檢測梁上設有應變壓敏元件,檢測梁的厚度及寬度小于連接梁;獨立支撐梁、質量塊、組合梁中的連接梁為等厚設置。結構合理、簡單,能實現水平向加速度測量,加工工藝簡單,受環境溫度影響較小,在高溫環境下不易失效,易于實現三軸集成,適用于測量高g值的沖擊加速度。
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